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等离子技术研究室
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概述
   电子工业清洗是一个很广的概念,包括任何与去除污染物有关的工艺,但针对不同的对象,清洗的方法有很大的区别。目前在电子工业中已广泛应用的物理化学清洗方法,从运行方式来看,大致可分为两种:湿法清洗和干法清洗。湿法清洗已经在电子工业生产中广泛应用,清洗主要依靠物理和化学(溶剂)的作用,如在化学活性剂吸附、浸透、溶解、离散作用下辅以超声波、喷淋、旋转、沸腾、蒸气、摇动等物理作用下去除污渍,这些方法清洗作用和应用范围各有不同,清洗效果也有一定差别。CFC清洗在过去的清洗工艺中,从清洗效力及后续工序上都占有很重要的地位,但由于其损耗大气臭氧层,而被限制使用。对于替代工艺,在清洗过程中,不可避免的存在需后续工序的烘干(ODS类清洗不需烘干,但污染大气臭氧层,目前限制使用)及废水处理,人员劳动保护方面的较高投入,特别是在电子组装技术,精密机械制造的进一步发展,对清洗技术提出越来越高的要求。环境污染控制也使得湿法清洗的费用日益增加。相对而言,干法清洗在这些方面有较大优势,特别是以等离子清洗技术为主的清洗技术已逐步在半导体、电子组装、精密机械等行业开始应用。因此,有必要了解等离子清洗的机理及其应用工艺。


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  等离子技术研究室

研究方向:

·等离子生成机理的研究

·等离子应用技术的研究

·等离子材料处理设备的研究

    低温等离子材料表面处理技术从最初的引进吸收,到目前国内各行业的应用表明:该项技术将会对我国的材料学领域产生巨大的影响和推动,并以其明显的优势为人们所认识。在二十一世纪,随着科学技术的飞速发展,对新型材料的需求和材料改性的迫切需要,无疑将大大推动等离子技术的发展和应用。

低温等离子材料处理优势:

1、等离子处理技术属干式工艺,节省能源,无公害物排放。

2、处理时间短、效率高。

3、对处理对象无严格要求,具有广泛的适用性。

4、能处理外形复杂结构的材料,互有较好的处理均匀性。

5、反映温度低,特别是高分子材料,不会引起形变.

6、对材料表面处理只有深度几纳米到几百纳米,不会改变材料的基体性。

   唐山燕赵科技研究院等离子技术研究室将重点致力于等离子应用技术和设备的研究,吸收国内外先进经验,通力合作,为推动和普及等离子技术做出我们的努力.

   


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