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技术文献

概述
   电子工业清洗是一个很广的概念,包括任何与去除污染物有关的工艺,但针对不同的对象,清洗的方法有很大的区别。目前在电子工业中已广泛应用的物理化学清洗方法,从运行方式来看,大致可分为两种:湿法清洗和干法清洗。湿法清洗已经在电子工业生产中广泛应用,清洗主要依靠物理和化学(溶剂)的作用,如在化学活性剂吸附、浸透、溶解、离散作用下辅以超声波、喷淋、旋转、沸腾、蒸气、摇动等物理作用下去除污渍,这些方法清洗作用和应用范围各有不同,清洗效果也有一定差别。CFC清洗在过去的清洗工艺中,从清洗效力及后续工序上都占有很重要的地位,但由于其损耗大气臭氧层,而被限制使用。对于替代工艺,在清洗过程中,不可避免的存在需后续工序的烘干(ODS类清洗不需烘干,但污染大气臭氧层,目前限制使用)及废水处理,人员劳动保护方面的较高投入,特别是在电子组装技术,精密机械制造的进一步发展,对清洗技术提出越来越高的要求。环境污染控制也使得湿法清洗的费用日益增加。相对而言,干法清洗在这些方面有较大优势,特别是以等离子清洗技术为主的清洗技术已逐步在半导体、电子组装、精密机械等行业开始应用。因此,有必要了解等离子清洗的机理及其应用工艺。


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简介
  唐山燕赵科技研究院始建于1988年,汇集了一批电子、环保、能源、机械等多领域、跨行业的高级技术和管理人才,并取得了多项科技研究成果,促进了科技进步和经济发展。
 
           
 
3A型机在暗室下的辉光图
 
YZD08-2A型等离子清洗机
 
YZD08-2B型等离子清洗机
           
 
YZD08-3A型等离子清洗机
 
YZD08-5B型等离子清洗机
 
射频功率为85%时的波形图
           
 
出厂前试机图-1
 
出厂前试机图-2
 
YZD08-2B清洗机内部结构图
 
 
 
  YZD08系列C型等离子清洗机机是在原A型机与B型机基础上的升级换代产品。原A型机除舱体外,其管路、阀体均为铜质材料,对于外加特殊气体而言缺乏防腐功能。原B型机的舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料,称之为全防腐型。而C型机除具有全防腐的特点外,引进了美国霍尼韦尔真空压力传感器,使得机器在智能控制下有了可靠的依据。
 
 
 
 

YZD08—2C型等离子清洗机技术参数:

  1. 舱体尺寸: 270mX100(直径)mm
  2. 射频频率: 40KHz
  3. 射频功率:  150W
  4. 电  源: ~220V
  5. 电  流: 1.2A
  6. 外形尺寸:  450mmX450mmX200mm
  7. 整机重量: 15Kg
  8. 真空泵配置:2XZ—1型真空泵
 
 
 
 

 

YZD08-2C型等离子清洗机工作图
  YZD08—2C型机是科研机构、院校实验室及小型物品处理工艺的首选,其具有的手动与自动控制功能非常方便操作使用;中科院生物物理所、中科院过程控制所、中科院理化技术所、清华、北大、北理工、杭州诺尔康神经电子公司、廊坊安科光电公司、东莞博阳光电公司等用户使用该机。
 
 
     
    YZD08-2C型等离子清洗机发光舱体
  我们给出的2C机舱体发光图,意在使客户初次使用等离子清洗机时,能够了解舱体的发光色度对我们在实施过程中的影响因素和调节取向。常规的清洗和处理,我们无需外加特殊气体,即能满足处理和清洗的需要。同时该图也是机器调试的参考标准:当外加气体(Gas1)为普通大气时,气体的流量决定其发光色度,色度过重表示气体流量过大,产生的离子数目过高,虽然对处理过程显得效果明显,但会使射频电流急剧增加,造成温度过高;而色度偏白时,意味着外加气体过少,等离子产生的数目极低,也不适宜正常的处理清洗需要。故舱体的发光色度是一个多维参数,其主体是气体流量。
 
 
     
    YZD08—5C型等离子清洗机技术参数
  1.舱体尺寸: 270mX150(直径)mm
2.射频频率: 40KHz
3.射频功率: 200W
4.电  源: ~220V
5.电  流: 1.8A
6.外形尺寸: 500mmX500mmX240mm
7.整机重量: 17Kg
8.真空泵配置:2XZ—2型真空泵
 
 
 
    YZD08-5C型等离子清洗机工作图
    YZD08—5C型等离子清洗机是常规的小批量生产用机型,如浙江大学、广州大学、厦门三安光电公司、常州泰和光电公司、安徽格瑞特光电公司、深圳飞康光电公司等多家使用,特别适用于LED/LCD产业和太阳能硅片领域。
     
 
     
    YZD08-5C型等离子清洗机发光舱体
    参照2C机发光舱体的说明,由于舱体的容积有所区别,故气体流量也不尽相同,但基本原理是一样的。由于处理清洗的需要而外加特殊气体时,其发光色度会有很大的变化,我们会在技术支持中给予指导。
     
 
     
    C型机内部结构
    除舱体尺寸、功率器件有所不同外,YZD08—2C型机与YZD08—5C型机的内部结构基本是相同的,特点是布局合理、散热好。
     
 
     
    C型机电器管路图
    图示的C型机电器管路(2C型、5C型,)基本相同,而W3C型由于属于外置舱体,连接略有区别。
     
 
     
    W3C型机配套总体
    YZD08—W3C型等离子清洗机特点是直观且实用容积大,其最大处理处理物品的体积可达100X100X100mm,其物理结构是刻蚀机的基础机型。
     
 
     
    YZD08—W3C型等离子清洗机技术参数
  1.舱体尺寸: 150mX150(直径)mm
2.射频频率: 40KHz
3.射频功率: 150W
4.电  源: ~220V
5.电  流: 1.5A
6.外形尺寸: 450mmX450mmX200mm(不包括外置舱体)
7.整机重量: 13.5Kg
8.真空泵配置:2XZ—1型真空泵
9.舱体材质: 石英玻璃
     
 
     
    每台机器出厂要进行的检测项目
  A;真空度检测
B:手动方式检测
C:自动方式检测
D:工作温度检测
E:最大工作电流检测
F:射频频率检测
G:亲水试验
     
 
     
    南开大学物理学院光学室
               光学玻璃镀膜前处理
     
     

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